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          潔凈室及潔凈室微塵檢測

          發布時間: 2012-10-08  點擊次數: 7501次

          潔凈室及潔凈室微塵檢測
          潔凈室(Clean Room) 是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

          潔凈室zui主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
            每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。

          潔凈室狀態分為以下三種:
          態:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。
          靜態:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒有操作人員。
          動態:處于正常使用的潔凈室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。

          控管項目
          1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
          2、能防止微塵粒子之產生。
          3、溫度和濕度之控制。
          4、壓力之調節。
          5、 有害氣體之排除。
          6、結構物與隔間之氣密性。
          7、靜電之防制。
          8、電磁干擾預防。
          9、安全因素之考慮。
          10、節能之考量。

          潔凈室之構成
          1.工業潔凈室
          以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
          2.生物潔凈室
            主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
            A、 一般生物潔凈室:主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。例:制藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
          B、 生物學安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)
          潔凈室污染知識
          1、發塵量
            潔凈室內的發塵量,來自設備的可考慮通過局部排風排除,不流入室內;產品,材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比,一般小,可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來自建筑表面的發塵也很少,一般占10%以下,發塵主要來自人,占90%左右。在人的發塵量上,由于服裝材料和樣式的改進,發塵量也不斷減少。
            A、材質:棉質發塵量zui大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
            B、樣式:大掛式發塵量zui大,上下分裝型次之,全罩型zui少;
            C、活動:動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍;
            D、清洗:用溶劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。
          室內維護結構表面發塵量,以地面為準,大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。
          2、發菌量
            工作人員產生的污染:
            1)皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的*脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)
            2)頭發:人類的頭發(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
            3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
            4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品和細菌。
            5)人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒。
            6)人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米的微粒。
            7)人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微米的微粒。

          潔凈室標準規范
          1.國內標準規范
          (1).潔凈廠房設計規范 GB50073-2001[1]
          (2).醫院潔凈手術部建筑技術規范GB50333-2002
          (3).醫藥工業潔凈廠房設計規范GB 50457-2008
          (4).傳染病醫院建筑設計規范
          (5).醫藥工業潔凈室(區)懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
          (6).QS認證質量手冊
          (7).GMP 藥品生產質量管理規范

          行業應用
          凈化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業,目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業均有應用,并根據行業的精密與無塵要求,等級差別也較大。
          目前級別zui高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于領域,面積相對較小。
          另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。

          潔凈室微塵檢測

          粒子計數器
          粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的儀器,由顯微鏡發展而來,經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過程,其中因激光空氣粒子計數器測試速度快、動態分布寬、不受人為影響等各方面的優勢,而成為近年來很多行業的主流產品。

          不同標準的分類
          1、按測試原理:光散亂法測試(白光、激光)、顯微鏡法測試、稱重法測試、DMA法測試(粒徑分析儀)、慣性法測試、擴散法測試、凝聚核法測試(CNC)等。
          2、按流量:小流量 0.1cfm(2.83L/min) 大流量 1cfm(28.3L/min)
          3、按形狀、體積大小:、臺式
          4、按測試通道:單通道(只測某一種粒子徑);雙通道(測試某兩種粒子徑);多通道(測試多種粒子徑)
          5、其他:粒子計數器的應用領域

          空氣中的微粒在光的照射下會發生散射,這種現象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和微粒大小而言,有一個基本規律,就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小,就是光散射式粒子計數器的基本原理。實際上,每個粒子產生的散射光強度很弱,是一個很小的光脈沖,需要通過光電轉換器的放大作用,把光脈沖轉化為信號幅度較大的電脈沖,然后再經過電子線路的進一步放大和甄別,從而完成對大量電脈沖的計數工作。此時,電脈沖數量對應于微粒的個數,電脈沖的幅度對應于微粒的大小。

          LUYOR-365無塵室表面微粒檢測儀,產品表面落塵檢測儀

          無塵室表面微粒檢測儀,產品表面落塵檢測儀主要由紫外線的照射,可檢測出帶有熒光的物質。尤其對容易因靜電吸附難以清除的物質(如纖維)具有佳的辯認效果。(若能降低環境光度,辯認效果更佳,可辯認到1微米/um的塵埃)。 一般無塵室所普遍使用的Particle counter或是落塵監控設備只能檢測出環境落塵質量,不能檢測Particle落于何處。透過紫光微粒檢測儀照射產生的把反差效果,能輕易看到微小肉眼難以辯論的落塵。
          輕量化的設計,內建充電式鋰電池,配置可提式保管箱,適合攜帶使用。

          LUYOR-365紫光微粒檢測儀典型應用
          無塵室設備及產品Particle清潔檢查
          無塵室地面清潔檢查
          曝光機柜框Particle清潔檢查
          壓合鋼板清Particle潔檢查

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